細孔放電機利用放電現象產生氣流的設備。其原理是通過電離和放電現象，使氣體變為等離子體，進而形成電流和電磁場，從而產生氣流。通常由兩個電極組成，分別稱為靜電極和動電極。靜電極和動電極之間通過一個細孔隔開，細孔是氣流出口。靜電極上施加電壓，形成電場。當電壓達到一定數值時，電場強度變得足夠強，使得靠近細孔的氣體分子氮氧化合物離子化，形成氮氧等離子體。
 

　　離子化的氣體分子在電場的作用下運動，經過細孔時，由于電磁作用和離子受力的平衡，在靜電力和動電力的共同作用下，產生了氣流。氣流從細孔中流出，并產生了氣體的運動和動能。氣流的速度和輸出量取決于放電電壓的大小和細孔的尺寸。
 

　　細孔放電機的工作原理可以歸納為以下幾個步驟：
 

　　1.電壓升高：當靜電極施加電壓時，電場強度增大。
 

　　2.氣體電離：當電場強度達到一定值時，靠近細孔的氣體分子開始電離，形成氮氧等離子體。
 

　　3.離子運動：離子在電場的作用下開始運動，經過細孔時，受到電磁力和離子受力的平衡。
 

　　4.氣流產生：在電磁力和離子受力的共同作用下，離子產生了氣流，并流出細孔。
 

　　5.輸出氣體：氣流的速度和輸出量取決于放電電壓的大小和細孔的尺寸。
 

　　細孔放電機的應用領域：
 

　　1.可以用于表面清潔、活化、去污、去膜、改性等。例如，在半導體加工中，細孔放電機可用于去除表面膠層、去除氧化層等操作。
 

　　2.可用于涂層形成。通過控制等離子體和物體的相互作用，可以在物體表面形成不同材料的涂層，例如金屬薄膜、陶瓷膜等。這種涂層形成方式具有較低的溫度和較高的沉積速率。
 

　　3.可以用于處理廢物和污染物。通過電暈放電產生的等離子體可以分解或轉化有害物質，例如有機廢物、有毒氣體等。
 

　　4.可以用于醫療領域。例如，在手術中，細孔放電機可以用于在局部產生等離子體，從而實現止血、殺菌等目的。